四氟化碳检测

⚠️ 危害与中毒症状

四氟化碳（CF₄，也称 R-14、Halocarbon 14）为无色无味稳定气体，本身化学惰性、无毒、不可燃。主要风险：① 密闭空间内置换氧气导致单纯性窒息（缺氧 < 19.5% 时危险）；② 高温分解（>600℃，如电弧、火焰中）可生成剧毒的氟化氢（HF）、羰基氟（COF₂）；③ 极强温室气体（GWP 7390，大气寿命 50000 年），属《京都议定书》管控的全氟化合物（PFC）之一。半导体行业用作干法刻蚀气体。检测主推红外（NDIR）法。

🏭 典型应用场景

• 半导体腔室刻蚀（晶圆制造）
• TFT-LCD / 光伏电池工艺
• 电力设备绝缘气体（与 SF₆ 混用）
• 冷冻机超低温制冷剂（R-14）
• 示踪气体（管道泄漏检测）

🔬 检测原理 / 推荐传感器

红外（NDIR，主推）/ 气相色谱

常用量程：0-1000 ppm