硅烷检测
化学式 SiH₄ · CAS 7803-62-5 · 自燃性 / 极易爆 / 毒性
危害与中毒症状
硅烷为无色具刺激性气味气体，遇空气可自燃，浓度超过 1.4% 与空气混合即爆炸。蒸气有毒，刺激呼吸道。
国家职业接触限值（GBZ 2.1-2019）
| PC-TWA（时间加权平均） | — |
|---|---|
| IDLH（立即危险浓度） | — |
| LEL（爆炸下限） | 1.4% |
| UEL（爆炸上限） | 96% |
⚠️ 实际报警阈值请结合现场风险评估。⚙️ 用国标报警值计算器精算 →
典型应用场景
- 半导体/光伏硅薄膜沉积（CVD）
- TFT-LCD 制造
- 光纤
- 硅基新材料
检测原理 / 推荐传感器
电化学专用 / 催化燃烧
常用量程：0-50 ppm