三氟化氮检测
化学式 NF₃ · CAS 7783-54-2 · 氧化性 / 强温室气体（GWP=17200）
危害与中毒症状
三氟化氮为无色稍带霉味气体，强氧化剂。受热分解释放 F₂ 和 NOx 致剧毒。极强温室气体。
国家职业接触限值（GBZ 2.1-2019）
| PC-TWA（时间加权平均） | 29 mg/m³ |
|---|---|
| IDLH（立即危险浓度） | 1000 ppm |
⚠️ 实际报警阈值请结合现场风险评估。⚙️ 用国标报警值计算器精算 →
典型应用场景
- 半导体腔室清洁（替代 PFC）
- TFT-LCD 制造
- 光伏电池
检测原理 / 推荐传感器
红外（NDIR）/ 电化学
常用量程：0-50 ppm