项目背景

长三角某新建 12 寸晶圆厂二期工程，特气供应间使用 SiH₄（硅烷）、PH₃（磷化氢）、AsH₃（砷化氢）、Cl₂、HF 等 60+ 种特种气体。新厂房按《SEMI S6-2024》标准建设，要求 7×24 不间断双重冗余监测 + ppb 级响应。

客户痛点

  • SiH₄ 自燃（LEL 1.4%），泄漏即可能引发火灾
  • PH₃ / AsH₃ 剧毒，0.3 ppm 致死，需 ppb 级（0.001 ppm）响应
  • Cl₂ / HF 强腐蚀，1 ppm 即对人员造成永久损伤
  • 误报一次即触发整厂停产，损失可达千万元，必须低误报率
  • 需符合《SEMI S6-2024》双重冗余 + 与 EMS / FCS 全协议对接

优锐安解决方案

  • 特气间多点冗余：每种特气配 2 套独立传感器，2/3 表决投票避免误报
  • 三道防线布防：气瓶柜内 + 房间天花板 + 排风口
  • PH₃ / AsH₃ ppb 级：定制电化学探头，分辨率 0.001 ppm
  • SiH₄ 自燃监测：8 套定制传感器，0-50 ppm 量程
  • Cl₂ / HF 高灵敏：48 套电化学探头
  • EFE / FFU 联动：触发预警自动切断气源 + 启动应急排风
  • EMS / FCS 协议对接：Modbus / OPC UA / Profinet 全协议
  • AI 漂移自诊断：基于历史数据预测维护周期，避免误报

实施效果

  • 128 套电化学 + 64 套红外，覆盖全部特气供应点位
  • SEMI S6-2024 双重冗余审计 100% 通过
  • 2025 年试运行期 0 起误报事故，0 起漏报
  • EMS 系统对接，泄漏响应时间 < 5 秒