三氯氢硅检测
化学式 SiHCl₃ · CAS 10025-78-2 · 极易燃 / 强腐蚀
危害与中毒症状
三氯氢硅为无色易燃液体(沸点 32°C),遇水水解释放 HCl。蒸气易燃,爆炸范围广。半导体行业核心原料。
典型应用场景
- 多晶硅/单晶硅生产
- 光伏行业
- 半导体外延(EPI)
检测原理 / 推荐传感器
催化燃烧 / 红外
常用量程:0-100% LEL
化学式 SiHCl₃ · CAS 10025-78-2 · 极易燃 / 强腐蚀
三氯氢硅为无色易燃液体(沸点 32°C),遇水水解释放 HCl。蒸气易燃,爆炸范围广。半导体行业核心原料。
催化燃烧 / 红外
常用量程:0-100% LEL