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三氯氢硅检测

化学式 SiHCl₃ · CAS 10025-78-2 · 极易燃 / 强腐蚀

危险等级
分子量 135.45
爆炸极限 1.2% ~ 90.5%

⚠️ 危害与中毒症状

三氯氢硅为无色易燃液体(沸点 32°C),遇水水解释放 HCl。蒸气易燃,爆炸范围广。半导体行业核心原料。

🏭 典型应用场景

  • 多晶硅/单晶硅生产
  • 光伏行业
  • 半导体外延(EPI)

🔬 检测原理 / 推荐传感器

催化燃烧 / 红外

常用量程:0-100% LEL

🧪 用 三氯氢硅 试一下浓度换算 mg/m³ ⇄ ppm 双向计算 · 自动套用本气体分子量 135.45

🤝 该因子产品定制中

暂未上架专用型号,但我们已具备 三氯氢硅 检测能力,支持定制配置传感器

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