六氟化钨检测
化学式 WF₆ · CAS 7783-82-6 · 强腐蚀 / 强毒性
危害与中毒症状
六氟化钨为无色或浅黄色气体,遇水剧烈水解生成 HF 和 WO₂F₂。强腐蚀性,灼伤皮肤黏膜。
典型应用场景
- 半导体钨金属化(CVD)
- 光伏电池
- 硬质合金涂层
检测原理 / 推荐传感器
红外 / 专用电化学
常用量程:0-10 ppm
化学式 WF₆ · CAS 7783-82-6 · 强腐蚀 / 强毒性
六氟化钨为无色或浅黄色气体,遇水剧烈水解生成 HF 和 WO₂F₂。强腐蚀性,灼伤皮肤黏膜。
红外 / 专用电化学
常用量程:0-10 ppm