四氯化硅检测
化学式 SiCl₄ · CAS 10026-04-7 · 强腐蚀 / 易水解
危害与中毒症状
四氯化硅为无色发烟液体,遇水剧烈水解释放 HCl,蒸气具强烈刺激。
典型应用场景
- 多晶硅/光纤生产副产物
- 气相二氧化硅
- 半导体清洗
检测原理 / 推荐传感器
PID / 电化学(HCl)
常用量程:0-50 ppm
化学式 SiCl₄ · CAS 10026-04-7 · 强腐蚀 / 易水解
四氯化硅为无色发烟液体,遇水剧烈水解释放 HCl,蒸气具强烈刺激。
PID / 电化学(HCl)
常用量程:0-50 ppm